晶圆识别
贯穿整个加工过程的晶圆跟踪
随着晶圆价值的越来越高，加工过程愈加依赖自动化以保持较高的产量。虽然不断发展的生产工艺继续为成功识别晶圆带来了全新的挑战，但在所有工艺步骤中跟踪晶圆却比以往更加重要。In-Sight 1720 系列晶圆读码器具有前所未有的卓越性能和可靠性，可以更好的应对这些挑战。In-Sight 1720 系列读码器通过防止设备停机和最大程度地降低人工干预需求而实现 100% 的晶圆跟踪。
卓越的性能
In-Sight 1720 系列晶圆读码器虽然体积小巧，但具有已在全球安装 25,000 多台读码器的晶圆识别行业领导者康耐视才能提供的所有性能。此独立超薄套件提供晶圆识别所需的所有工具。
- 由精密光学元件和动态控制照明组成的专利系统可发现任何晶圆标记，即使是在具有难以成像的超薄涂层的晶圆上的标记。
- 高速处理能力加上康耐视的强大二维 OCR 和条码阅读算法几乎可克服晶圆标记的任何磨损，包括卷边、CMP 和模具痕迹。
- 高分辨率成像器非常适于 300mm 晶圆标记标准，能够在较大视野内读取 SEMI M12 OCR 标记，同时捕捉 T7 数据矩阵标记解码所需的所有细节。
In-Sight 1720 系列型号
| 1720 | 1721 | 1721 | ||
| 条码 | BC 412 (SEMI T1-95 标准)和 IBM 412。 | ● | ● | ● |
| OCR | SEMI (M12、M13 和 M1.15 标准)、IBM、Triple 和 OCR-A 字体。 | ● | ● | ● |
|
二维 |
数据矩阵 (T7 和 M1.15 标准)。 | ● | ● | |
| 高分辨率成像器 | 支持所有 300mm 晶圆标记。 | ● | ● | |
| 红外线照明 | 显示由最新超薄氧化物、氮化物和聚酰亚胺涂层掩盖的晶圆标记。 | ● |
极致简约
直观的软件界面无需高级操作员培训，并允许完全“掌控”室内外的整个 1720 系列读码器网络。
- 通过自动调整排除组合设置中的疑惑之处，从而优化图像设置并读取最棘手的晶圆标记。
- 可创建多个组合以动态适应批次内标记质量的变化，以及不同批次间的不同标记。各个设置组合可储存在网络中的任意位置并在读码器间共享。
- 监控网络上任何读码器的实时操作，记录图像并读取结果以便离线分析。
无人能及的灵活性
1720 系列晶圆读码器可简单地与任何类型的自动晶圆移动设备集成，可以进行新安装，也可以改造现有处理工具。
- 垂直安装，或在有高度限制以适应狭窄空间的情况下使用可选反射镜附件进行水平安装。安装向后兼容 In-Sight 1700 系列读码器。
- 外部可调焦距使读码器可安装在 5mm 到 80mm 之间的任何工作距离内。
- 简单的以太网和串行命令使得任何远程设备均可控制读码器和收集读取结果。内置协议与多种设备以及传统康耐视晶圆读码器兼容。