1.       能适应156mm*156mm和125mm*125mm两种硅片

2.       生产能力≤2.5s/1pcs(156mm*156mm),≤2.3/1PCS( 125mm*125mm) ,具有储片缓存能力

3.       机械臂强度可靠，能精确平稳快速运动

4.       传动部件速度具有从一个传动部分到另一个传动部分的协调能力，可调性强

5.       各独立硬件系统，软件上能实现独立控制

6.       单轴机械臂运输硅片