1.能适应156mm*156mm和125mm*125mm两种硅片

2.生产能力≤2.5s/1pcs（156mm*156mm），≤2.5s/pcs（125mm*125mm）

3.机械臂强度可靠，能精确平稳快速

4.传动部件速度具有从一个传动部分到另一传动部分协调能力，可调性强

5.各独立硬件系统，软件上能实现独立控制

6.由高精度皮带线运输硅片，双流道模式上料